Claquage Dielectrique Lors Dirradiation de Films Minces de Polymeres

Ce livre présente une étude fondamentale des effets de la charge électrique lors d'irradiation d'échantillons de films minces de polymčres organiques isolants par des ions de césium. Le but de ce travail est de mieux comprendre les modifications des propriétés physico-chimiques induites, dans les films de polymčres isolants soumis au profilage ionique en spectrométrie de masse d'ions secondaires (SIMS). L'étude des distributions énergétiques des ions secondaires prouve que, l'accumulation de la charge électrique ŕ la surface des échantillons provoque le claquage diélectrique des films minces de polymčres isolants, pendant la pulvérisation dans la phase transitoire. Les résultats obtenus par spectroscopie de photoélectrons X (XPS) montrent la création d'une phase conductrice, permettant ultérieurement la neutralisation de la charge électrique accumulée ŕ travers des canaux conducteurs créés dans le film. Cette phase conductrice est constituée principalement d'îlots de carbone et de clusters de césium métalliques. Le claquage diélectrique dégrade le film de polymčre en deçŕ de la surface et il fausse l'information moléculaire obtenue par l'analyse SIMS, dans le régime stationnaire.