Doprava zdarma při nákupu nad 1 499 Kč přes Zásilkovnu nebo PPL Box.

Zjistit stav objednávky

Staňte se součástí komunity milovníků knih z celého světa a získejte hromadu výhod. Založit účet zdarma

Doprava zdarma se Zásilkovnou nad 1 499 Kč

Kurýr DPD 69 Kč Balíkovna 69 Kč PPL kurýr 74 Kč PPL box 39 Kč Zásilkovna 39 Kč Výdejní místo DPD 49 Kč PPL shop 49 Kč Balíkovna 49 Kč

Kontakt

Jak nakupovat

Pomoc

Můj účet

▸ Prázdný

Doprava zdarma při nákupu nad 1 499 Kč přes Zásilkovnu nebo PPL Box.

Micromirror Technology for Maskless Lithography

Name: Micromirror Technology for Maskless Lithography
Brand: Scholars' Press
SKU: 06847304
Price: 1620 CZK
Availability: InStock
Author: Chen Yijian
ISBN: 9783639513653

Dynamics, Control and Fabrication

Chen Yijian

Jazyk

Angličtina

Kniha Brožovaná

Libristo kód: 06847304

Nakladatelství Scholars' Press, srpen 2013

This book presents a complete analysis and review of dynamics, control and fabrication of MEMS micro... Celý popis

Libristo kód: 06847304

162 b

1 620 Kč

Skladem u dodavatele Odesíláme za 5-8 dnů

Až 30 dní na vrácení zboží

Zákazníci také koupili

Pflegestufe Freiheit Michael Kranz

Brožovaná

545 Kč

Mancs Őrjárat - Állati küldetések - Foglalkoztatókönyv

List

57 Kč

LA MUERTE DE LA CULTURA CRISTIANA SENIOR

Brožovaná

532 Kč

ONE OF US IS BACK Anja Galic

Pevná

434 Kč

Disquisiciones náuticas Fernández Duro

Brožovaná

276 Kč

Swiete ziola poleskich znachorek R-Z T Alla Alicja Chrzanowska

Brožovaná

492 Kč

La practica de los monologos comicos Gabriel Cordoba

Adobe ePub DRM

159 Kč

Dom z ruží Monika Dacková

Brožovaná

150 Kč

Los sonidos del espanol Jose Ignacio Hualde

Adobe ePub DRM

1 432 Kč

Les chevaliers d'antarès - Tome 8 Anne Robillard

Brožovaná

256 Kč

Mikrobiologia medyczna Bhanu Shrivastava

Brožovaná

1 217 Kč

Dom twego dziecinstwa Szerstiennikow Nikołaj

Brožovaná

160 Kč

Bodenerosion und ihre Beziehungen zur Bodenfruchtbarkeit im subtropischen Bereich der VR China. Günter Kuhnt

Brožovaná

781 Kč

Frozen Heat - Auf dünnem Eis Richard Castle

Brožovaná

317 Kč

Meine Reise in Den Brasilianischen Tropen Therese von Bayern

Brožovaná

1 278 Kč

Positionelle Identifizierung der Krankheitsgene bei idiopathisch generalisierten Epilepsien Hossein Askari

Brožovaná

975 Kč

Impact de l'A rogare Sur Le Traitement Du Trafic Passager Et Fret Félix Lela Mafuta

Brožovaná

592 Kč

Intertextualitaet Und Variation Im Werk Friedrich Duerrenmatts Oliver Moebert

Pevná

2 855 Kč

Mundo De Colores o La Memoria De La Desmemoria Gabriela Lopez Mijares

Brožovaná

513 Kč

SINFONIA, WV 418 GUITARES-PARTITION+PARTIES SEPAREES GEORG CHRISTOPH WAGE Kniha

binding.

956 Kč

Le Chef-d'Oeuvre de Papa Schmeltz Celieres-P

Brožovaná

614 Kč

Histoire Medicale Generale Et Particuliere Des Maladies Epidemiques, Contagieuses Tome 2 OZANAM-J-A-F

Brožovaná

674 Kč

Cid Pierre Corneille

Brožovaná

207 Kč

Atlas ilustrado el automóvil en España

Pevná

451 Kč

This book presents a complete analysis and review of dynamics, control and fabrication of MEMS micromirrors for applications in DUV and EUV maskless lithography. The transient and resonant behavior of various types of electro-mechanically damped micromirrors with various degrees of freedom are discussed. The theoretical approach using the perturbation method and linear control theory is described. Micromirror design and fabrication issues including the material properties, process integration, and device reliability are addressed. Novel processing solutions such as the self-aligned spacer patterning technique to define nano-scale actuation gaps for low-voltage operation are introduced. Fabrication results of highly complicated 3-D MEMS devices such as vertical-comb tilting micromirrors and double-flexure piston micromirrors are demonstrated. This book serves as an excellent in-depth source of MEMS dynamics, control, and fabrication knowledge for both graduate students and experienced researchers.